什么是等離子清洗機(jī)？等離子清洗的原理介紹

發(fā)表時(shí)間：2025-02-10 15:33

一、概述

等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

二、原理介紹

?什么是等離子體？

等離子體是一種中性、高能量、離子化的氣體。其中包括中性原子或分子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素、光子等。

等離子體是不同于固體、液體和氣體的物質(zhì)第四態(tài)。物質(zhì)由分子構(gòu)成，分子由原子構(gòu)成，原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負(fù)電的電子構(gòu)成。當(dāng)被加熱到足夠高的溫度或其他原因，外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子，電子離開(kāi)原子核，這個(gè)過(guò)程就叫做“電離”。這時(shí)，物質(zhì)就變成了由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成的、一團(tuán)均勻的“漿糊”，因此人們戲稱它為離子漿，這些離子漿中正負(fù)電荷總量相等，因此它是近似電中性的，所以就叫等離子體。

?等離子清洗方式：主要分為化學(xué)方式清洗和物理方式清洗，其中除了惰性氣體（例如：AR）之外存在純粹物理方式清洗，其余氣體電離后的等離子清洗均為化學(xué)和物理雙方式清洗。

?等離子體中存在電子、離子和自由基等活性粒子，其本身很容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)。等離子體具有很高的電導(dǎo)率，與電磁場(chǎng)存在極強(qiáng)的耦合作用。

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